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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本KAIJO晶圓級凸塊鍵合機

  • 產(chǎn)品型號：FB-x26凹凸2
  • 產(chǎn)品廠商：KAIJO凱捷
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
兼容*大 8 英寸的晶圓 FB-x26BUMP2晶圓級鍵合機單獨使用時，使用手動轉(zhuǎn)移方法支持*大8英寸的晶圓。 通過連接到可選的運輸系統(tǒng)“WHS-996”，它也可以用作全自動轉(zhuǎn)移粘合機。
詳情介紹：

日本KAIJO晶圓級凸塊鍵合機FB-x26凹凸2



FB-x26凹凸2

  • 支持*大 8 英寸的晶圓
  • 晶圓由手工提供（單獨使用時）
  • 升級的可追溯性和自我診斷
  • 可與晶圓進料 WHS-996 結合使用進行自動輸送

主要規(guī)格

粘接性能 粘接精度（不包括自學精度
） 		±3.0微米（3σ）
粘接范圍 *大 200 mm（8 英寸）（手動安裝規(guī)格） 自動傳輸規(guī)格的晶圓外周長超出鍵合范圍 2.5 mm 示例）

8 英寸：周長直徑為 195 mm 是粘合范圍
生產(chǎn)力 粘合時間 30毫秒/碰撞（藥丸切割模式）40毫秒/碰撞（固定切割模式）
兼容的運輸系統(tǒng) 晶圓尺寸 高達 8 英寸
輸送方式 半自動運輸（手動運輸）
*可與WHS-996結合使用進行全自動運輸
其他 外部尺寸 FB-x26凹凸2 ： 寬930×深1，240×高1，728mm
WHS-996 ： 寬680×深1，190.5×高1，424
重量 FB-x26顛簸2：520公斤 WHS-996：300公斤


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