支持從薄膜到厚膜的各種薄膜厚度

使用反射光譜分析薄膜厚度

實現(xiàn)非接觸、非破壞的高精度測量，同時體積小、價格低

簡單的條件設置和測量操作！任何人都可以輕松測量薄膜厚度

通過峰谷法、頻率分析法、非線性*小二乘法、優(yōu)化法等，可以進行多種膜厚測量。

非線性*小二乘法薄膜厚度分析算法可以進行光學常數(shù)分析（n：折射率，k：消光計數(shù)）。

**反射率測量

膜厚分析（10層）

光學常數(shù)分析（n：折射率，k：消光計數(shù)）

功能膜、塑料
透明導電膜（ITO、銀納米線）、相位差膜、偏光膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合劑、膠粘劑、保護膜、硬涂層、防指紋， 等等。

半導體
化合物半導體、Si、氧化膜、氮化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、藍寶石等。

表面處理
DLC涂層、防銹劑、防霧劑等。

光學材料
濾光片、增透膜等。

FPD
LCD（CF、ITO、LC、PI）、OLED（有機膜、封裝材料）等

其他
HDD、磁帶、建筑材料等

原理

大冢電子利用光學干涉儀和自有的高精度分光光度計，實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學干涉測量法是一種使用分光光度計的光學系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學膜厚的方法，如圖 2 所示。以涂在金屬基板上的薄膜為例，如圖1所示，從目標樣品上方入射的光被薄膜表面（R1）反射。此外，穿過薄膜的光在基板（金屬）和薄膜界面（R2）處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學干涉現(xiàn)象，并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學干涉法。分析方法有四種：峰谷法、頻率分析法、非線性*小二乘法和優(yōu)化法。