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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SURUGASEIKI駿河精機帶編碼器高精度滑臺

  • 產(chǎn)品型號：UK-PG615
  • 產(chǎn)品廠商：SURUGASEIKI駿河精機
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
內(nèi)置編碼器全閉環(huán)控制，帶編碼器的高精度定位滑臺。 通過專用驅(qū)動器對5相步進馬達(dá)及光柵尺進行反饋控制，實現(xiàn)高精度定位。 20um柵距的柵尺通過細(xì)分電路進行細(xì)分，*高分辨率可達(dá)2.5nm; 【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可選】 新增直動滑臺9個機型，水平面Z軸滑臺3個機型。
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