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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Magnescale激光尺

  • 產(chǎn)品型號:BH25
  • 產(chǎn)品廠商:Magnescale
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
信號波長:250nm 高精度:±1μm/420mm 高速響應(yīng):1,800mm/s *大分辨率:3.8pm 產(chǎn)品陣容:帶原點,無原點 完全非接觸:原理上不存在返回誤差 柵尺部分:ZERO玻璃,無堿玻璃 厚度:12mm的薄型讀頭 支持各種分辨率和輸出格式 (BD96,BD700等,取決于內(nèi)插盒) 可支持真空 (特殊規(guī)格產(chǎn)品)
詳情介紹:

Laserscale

BH25

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BH25的特點

信號波長為250nm的高精度反射式激光尺。非常適合薄工作臺,半導(dǎo)體后處理設(shè)備和精密顯微鏡

  • 信號波長:250nm
  • 高精度:±1μm/420mm
  • 高速響應(yīng):1,800mm/s
  • *大分辨率:3.8pm
  • 產(chǎn)品陣容:帶原點,無原點
  • 完全非接觸:原理上不存在返回誤差
  • 柵尺部分:ZERO玻璃,無堿玻璃
  • 厚度:12mm的薄型讀頭
  • 支持各種分辨率和輸出格式 (BD96,BD700等,取決于內(nèi)插盒)
  • 可支持真空 (特殊規(guī)格產(chǎn)品)

規(guī)格

主要規(guī)格

激光尺使用半導(dǎo)體激光。激光對人體有害,所以請勿直視檢測頭

記載內(nèi)容如有更改,恕不另行通知

型號 BH25-RED BH25-NED
測量范圍 (mm) 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ZERO玻璃,無堿玻璃)
柵尺全長 測量范圍+26mm
*大可動長度 測量范圍+10mm
精度 (20℃時) ±0.5μm (30 ~ 170 mm) ±1.0μm (220 ~ 420 mm)
光柵間距 1.0μm
信號波長 0.25μm (250nm)
原點位置 1個
原點檢測方向 單方向
溫度膨脹系數(shù) 0.1×10-6/℃ (ZERO玻璃) 3.7×10-6/℃ (無堿玻璃)
光源 半導(dǎo)體激光 波長 790nm 輸出 6mW
檢測方式 衍射光柵掃描
工作溫度范圍 10 ~ 30℃ (不得有結(jié)露)
保存溫度范圍 -10 ~ 50℃ (濕度必須為60% 或更低)
*大響應(yīng)速度 1,800mm/s
輸出信號 連接內(nèi)插盒等
輸出分辨率 取決于內(nèi)插盒分割數(shù)

使用說明書

產(chǎn)品目錄

BH25 系列 日語 BH25 カタログ 日本語 PDF
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