FS-4/FS-8采用多LED光源和**新型MWE技術

使用新的**多波長橢圓計 （MWE） 技術（美國**號 9,354,118）和多波長 LED 光源可實現(xiàn)寬光譜橢偏儀分析。
此外，新發(fā)布的 FS-4 （G4） 和 FS-8 （G4） 分別在紅外和紫外區(qū)域增加了 LED，以在更寬的范圍內提供增強的薄膜測量。 光源單元的光路將多光譜LED光源集成到單個明亮均勻的光線中。
FS-4 / FS-8的主要功能和特點如下表所示。

多達 8 個波長！ 通過寬光譜范圍測量增強薄膜測量

新發(fā)布的 FS-4/FS-8 可在更多波長和更寬的光譜范圍內提供增強的薄膜測量。 新系統(tǒng)提供獲得**的多波長橢圓計 （MWE） 技術和長壽命 LED 光源、快速、可重復的探測器，無移動部件、緊湊的設計和 Web 瀏覽器界面，同時保持易用性和可負擔性。

埃納米薄膜薄膜厚度的高精度測量

從亞單層高精度測量納米薄膜的厚度，無損測量每層多層薄膜的厚度，

多光譜橢圓儀對薄膜非常敏感，由橢圓（Δ：delta）參數(shù)得出。
通過測量 Mr./Ms. 中反射的 p 偏振光和 s 偏振光之間的相位，即使要測量的光的波長 （500 nm） 與薄膜厚度（小于 0.1 nm）
相比非常長，也可以測量**的薄膜厚度定量到亞單層的厚度。

下表顯示了使用包含多層的各種 Mr./Ms. 拉力進行標準測量的準確度和精度。
得益于MWE技術，它在測量0?~1000nm范圍內薄膜的薄膜厚度和折射率方面表現(xiàn)出色。