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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ARK TECH方舟UV-LED光源

  • 產(chǎn)品型號：EW01S
  • 產(chǎn)品廠商：ARK TECH方舟
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
這是一款UV-LED光源，用于在g線和i線光刻膠兼容晶圓周圍曝光。 它可以安裝在新設備中，也可以輕松更換為當前使用的紫外燈光源。
詳情介紹：
項目 物質
工作環(huán)境溫度 5~40°C（無凝結。 ）
電源電壓 單相 100~240V
工頻 50/60赫茲
發(fā)光峰值波長 365±5納米
光輸出穩(wěn)定性 ±5%以內
初始紫外線強度 2000mW/cm2以上（365nm處，距面罩0.5mm）
強度分布的均勻性 10%以下（4×5mm區(qū)域）
紫外線發(fā)光源 UV-LED燈
紫外光源壽命 20,000 小時（預計壽命：*大驅動電流）* 紫外線強度為初始強度的 50% 或更高時的照明積分時間
輻照開/關功能 UV-LED 開/關控制 （通過遙控和手動控制開燈和關燈）
光強調節(jié)功能 UV-LED電流調節(jié)光強度調節(jié)范圍為20~100%
外墻材料 不銹的
外形尺寸 150（W） × 200（D） × 192（H） 毫米

輻照分布

輻照分布

外圖

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