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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ARK TECH方舟UV-LED光源

  • 產(chǎn)品型號：EW04S
  • 產(chǎn)品廠商：ARK TECH方舟
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
這是一款UV-LED光源，用于在g線和i線光刻膠兼容晶圓周圍曝光。 獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)超過 7,000 mW/cm2 的高輸出。
詳情介紹：
項(xiàng)目 物質(zhì)
工作環(huán)境溫度 5~40°C（無凝結(jié)。 ）
電源電壓 單相 100~240V
工頻 50/60赫茲
發(fā)光峰值波長 365±5納米
光輸出穩(wěn)定性 ±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度 2000mW/c㎡以上（365nm處，距掩模0.5mm）
強(qiáng)度分布的均勻性 10%以下（4×5mm區(qū)域）
紫外線發(fā)光源 UV-LED燈
紫外光源壽命 20000小時（*大驅(qū)動電流下的預(yù)計(jì)壽命） * 紫外線強(qiáng)度為初始強(qiáng)度的 50% 或以上時的照明累積時間
輻照開/關(guān)功能 UV-LED 開/關(guān)控制 （通過遙控和手動控制開燈和關(guān)燈）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能 UV-LED電流調(diào)節(jié)光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為20~100%
外墻材料 不銹的
外形尺寸 150（W） × 200（D） × 192（H） 毫米

輻照分布

輻照分布

外圖

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