4800 系列熱敏 MFC

長(zhǎng)處

• 流量響應(yīng)時(shí)間（穩(wěn)定時(shí)間）0.75秒以下
• **的MEMS傳感器和專(zhuān)用的PID算法
• 尺寸僅為普通散熱 MFC 的一半，緊湊尺寸：1“ x 3” x 4“ （25 mm x 76 mm x 101 mm）
• 使用可選的本地操作員界面（LOI）簡(jiǎn)化設(shè)置和操作：下載免費(fèi)的LabVIEW VI進(jìn)行設(shè)備監(jiān)控和歸零
• 通過(guò) RS-232 提供數(shù)字支持

優(yōu)點(diǎn)

• 適用于各種非腐蝕性氣體
• 快速響應(yīng)時(shí)間確保快速步驟，即使過(guò)程中配方更改也是如此
• 原始設(shè)備制造商的理想選擇：緊湊的尺寸，可以輕松集成到狹小的機(jī)器空間中，并加快安裝速度
• 可選的本地操作員界面 （LOI） 是用于本地顯示、設(shè)定點(diǎn)控制和設(shè)備配置的交鑰匙解決方案。 無(wú)需遠(yuǎn)程二次電子設(shè)備。
• 多種通信選項(xiàng)，滿(mǎn)足您的需求

用途

• 熱處理、切割/焊接、熱處理
• 太陽(yáng)能/薄膜物**相沉積 （PVD） 系統(tǒng)
• 用于試劑、校準(zhǔn)、測(cè)量和控制 Mr./Ms. 氣體流量的分析設(shè)備
• 
  

  產(chǎn)品類(lèi)型	4850質(zhì)量流量控制器	4860質(zhì)量流量計(jì)
  流量范圍（滿(mǎn)量程容量）	50 SCCM - 40 SLPM	50 SCCM - 40 SLPM
  精度	3.0% 滿(mǎn)量程 1.0% F.S. （可選）	3.0% 滿(mǎn)量程 1.0% F.S. （可選）
  再現(xiàn)性	0.15% 滿(mǎn)量程	0.15% 滿(mǎn)量程
  響應(yīng)時(shí)間	常閉閥：300 ms - <1 sec	常閉閥：300 ms - <1 sec
  *大壓力	150 psig/10 barg	150 psig/10 barg
  診斷能力	狀態(tài)指示燈：MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 報(bào)警：傳感器輸出、控制閥輸出、超溫、電涌/驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口：RS485 通過(guò) 2.5 毫米插孔	狀態(tài)指示燈：MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 報(bào)警：傳感器輸出、控制閥輸出、超溫、電涌/驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口：RS485 通過(guò) 2.5 毫米插孔
  模擬通信	0-5 伏直流電 4-20 毫安	0-5 伏直流電 4-20 毫安
  數(shù)字通信	RS232接口	RS232接口