GF80系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器/流量計

長處

• 長期零點穩(wěn)定性：小于 0.5% 滿量程/年
• 穩(wěn)定時間：1 秒或更短
• 滿量程流量高達 300 slpm
• 全金屬密封流路：16 μ“ Ra 表面光潔度
• 耐腐蝕的哈氏合金®傳感器可以在低溫下工作，適用于容易發(fā)生熱變性的氣體
• 可配置的 MultiFlo? 功能 - 在單個設備中支持數(shù)千種氣體類型和范圍組合，而無需斷開氣體管線或犧牲精度
• 有效的溫度補償，實現(xiàn)**的溫度系數(shù)規(guī)格
• 自診斷常規(guī)和獨立的診斷服務端口
• 纖薄的機身寬度，帶 VCR 配件
• DeviceNet?、Profibus®、RS-485、模擬接口

優(yōu)點

• 流量穩(wěn)定時間小于 1 秒，可消除氣體浪費和工藝可變性
• 可滲透氧氣，不使用需要隨著時間的推移而更換的彈性體密封件
• MultiFlo? 簡化和流水了工藝氣體轉(zhuǎn)換，無需去除或校準 MFC
• 可以在不到 60 秒的時間內(nèi)設置新的氣體和/或范圍
• 測量精度不受溫度波動的影響
• 易于訪問診斷端口，以*大限度地延長生產(chǎn)正常運行時間
• 體積緊湊，可輕松集成到狹小的機器空間中，是改進的理想選擇
• 多個協(xié)議通信接口簡化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

用途

• 新型半導體工藝工具，用于對傳統(tǒng) MFC 進行經(jīng)濟高效的改造/升級
• 減少 6 英寸和 8 英寸半導體工廠的 MFC 庫存
• 用于 LED 和功率器件制造的 MOCVD
• 太陽能/薄膜化學氣相沉積 （CVD） 系統(tǒng)
• 分析OEM設備