5850EM 系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器

長(zhǎng)處

• 長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性：小于 0.2% 滿量程/年
• 建立時(shí)間小于 3 秒，可適應(yīng)微小的過(guò)沖/下沖變化
• 寬流量范圍 – 3 sccm 至 30,000 slpm
• 高壓額定值 - 高達(dá) 1,500 psi
• 可選的加固工藝內(nèi)部飾面 - 平均 5 μ“ Ra
• 可拆卸流量傳感器
• 安裝姿勢(shì)無(wú)影響
• 與其他質(zhì)量流量控制器的機(jī)械和電氣兼容性
• TTL兼容的“閥門關(guān)閉”和吹掃功能

優(yōu)點(diǎn)

• 金屬流路可提高氣體清潔度并減少泄漏
• 在各種過(guò)程和應(yīng)用中經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
• 可靠的性能提供了出色的投資回報(bào)
• 可拆卸流量傳感器，無(wú)需連續(xù)監(jiān)測(cè)和*大調(diào)節(jié)氣體壓力
• 專用模擬輸入和輸出，便于安裝和維修

用途

• 光纖
• 發(fā)光二極管 / MOCVD
• 半導(dǎo)體
• 太陽(yáng)的