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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：BROOKS 布魯克斯 高溫質(zhì)量流量控制器

  • 產(chǎn)品型號：5850EMH
  • 產(chǎn)品廠商：BROOKS 布魯克斯
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
久經(jīng)考驗(yàn)的長期穩(wěn)定性。 超高清潔性能，適用于高溫應(yīng)用
詳情介紹：

5850EMH 系列高溫質(zhì)量流量控制器

長處

  • 高泄漏完整性（10-11 Pa.m3/s （10-10 atm.cc/s） He 或更低）
  • 寬流量范圍（0.003~100 slpm）
  • 高純度VAR 316L不銹鋼
  • 防止顆粒的形成
  • 氦氣泄漏止回口
  • 常閉閥（提供常開閥選項(xiàng)）
  • 電動閥門超控
  • 低指令流截止
  • 符合TTl標(biāo)準(zhǔn)的“閥門關(guān)閉”功能

優(yōu)點(diǎn)

  • 穩(wěn)定且經(jīng)過驗(yàn)證的產(chǎn)品平臺
  • 高達(dá) 100 lpm 的高流量性能（相當(dāng)于 N2）
  • 金屬流路可提高氣體清潔度并減少泄漏
  • 專用模擬輸入和輸出，便于安裝和維修

用

  • 光纖制造 - MCVD、OVD、AVD
  • 流量蒸汽流量控制

規(guī)格

5850EMH 5851EMH
流量范圍（滿量程容量） 3 sccm - 30 slm （N2 等同） 10 - 100 slm （N2 等同）
精度

±1%FS

±1%FS

再現(xiàn)性 SP的0.25%< ± < ±0.25% SP的
響應(yīng)時(shí)間

3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）

3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）

模擬通信

0-5 伏直流電

0-5 伏直流電

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