長處

映射涂層測厚儀能夠在*大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動(dòng)映射膜厚測量。 自動(dòng)對(duì)位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時(shí)管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

1. 1

   能夠?qū)?大 300 mm 的晶圓的整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)涂層厚度映射測量

2. 2

   自動(dòng)對(duì)位功能

3. 3

   通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性

   • 通過自動(dòng)檢測缺口和無花柱位置，以及自動(dòng)檢測晶圓偏心率，實(shí)現(xiàn)高精度測量。

4. 4

   可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。

5. 5

   透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動(dòng)

6. 6

   一體化節(jié)省空間的設(shè)計(jì)